RFID-basierte Prozesskontrolle in der Halbleiterfertigung
ISBN
978-3-8350-0639-3
Type
book section
Date Issued
2006
Author(s)
Editor(s)
Engelhardt-Nowitzki, Corinna
Lackner, Elisabeth
Funding(s)
Language
German
HSG Classification
contribution to practical use / society
Refereed
No
Book title
Chargenverfolgung : Möglichkeiten, Grenzen und Anwendungsgebiete
Publisher
Dt. Univ.-Verl.
Publisher place
Wiesbaden
Start page
209
End page
218
Pages
12
Subject(s)
Division(s)
Eprints ID
52710